横截面形线、纵截面形线、同轴度、椭圆度
接触式轮廓仪
采用接触式方式测量粗糙度和轮廓
接触式测量圆度、圆柱度、形线
采用白光干涉的方式实现超精密3D测量
采用全自动白光干涉系统,测量3D面轮廓和面粗糙度