1、氩气系统：氩气系统主要包括氩气容器、两级压力调节器、气体流量计和能够按照分析条件自动改变氩气流量的时序控制部分。氩气的纯度及流量对分析测量值有很大的影响，应保证氩气的纯度不小于99.995%，否则应使用氩气净化装置，且火花室内氩气的压力和流量应保持恒定。

2、电极：不同型号的设备使用不同的对电极。一般使用直径为4mm~8mm，顶端加工成30°~120°的圆锥型钨棒或其他电极材料，其纯度应大于99%。也可使用直径为1mm的平头钨电极。每个实验室根据具体情况确定更换对电极的时间。

3、分光计：一般分光计的一级光谱线色散的倒数应小于0.6nm/mm，焦距为0.35m~1.0m，波长范围为165.0nm~410.0 nm，分光计的真空度应在3Pa以下工作，或充高纯惰性气体(该气体不吸收波长小于

200nm谱线，且纯度不低于9999%)。

4、测光系统：测光系统应包括接收信号的光电转换检测器、能存储每一个输出电信号的积分电容器、直接或间接记录积分器上电压或频率的测量单元和为所需要的时序而提供的必要的开关电路装置。