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DZBG-SID白光干涉仪
一、概述：
DZBG-SID白光干涉三维形貌仪是采用国外* 先进的白光干涉扫描技术研制的纳米量级形貌测量 仪器，透过精密的扫描系统和自主专利的解析算法， 进行样品表面微细形貌的量测与分析。表面显微成 像能力与高精度测量的完美结合，只需数秒钟，就能 观测到表面的三维轮廓、台阶高度、表面纹理、微观尺 寸以及包含各类参数的测量结果。
二、结构设计：
标准配置采用五轴手动调整载物平台，可依据 不同测试要求做弹性调整,并可选配电动载物平台， 以实现自动定位、自动聚焦、自动缝合之大面积高 精度的量测要求，样品均不需前处理即可进行非破 坏、高精度、快速的表面形貌测量和分析。
系统采用气浮式隔振模块、坚固的花岗岩和钢 结构支撑,具有出色的稳定性。测量过程简便而快速, 只需把被测物体放置到载物台，聚焦出干涉条纹， 按下测量按钮即可开始整个测量过程。
三、产品特点：
•非接触、高稳定性、高速度测量
•高精度测量垂直重复测量精度可达1nm垂直解析度 可达0.1nm、水平解析度可达0.1um
•大面积测量自动缝合技术实现大面积高精度测量
•功能强大使用便捷的测量分析软件PuruiVision应 用软件可提供多项测量参数
•适用范围广泛可以测量多种类型样品的表 面微细结构
•真正意义的免维护及优良的性能价格比
四、使用原理：
照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射 到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再 次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相 机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在 CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条 纹的亮度取决于两束光的光程差，根据干涉条纹明暗度 解析岀被测样品的相对高度。