● 采用刚性好的固定桥式结构,具有高精度、高性能和高稳定性的优点;
● 四轴均采用精密滚珠丝杠传动,具有刚性高,反向问隙小、传动精度高的特点;
● 采用优质花岗岩空气轴承导轨结构,热膨胀系数小,导向精度高,运行平稳;
● Y向采用燕尾式气浮导轨设计,使其在X、Z方向具有较强的抗扭强度;
● Z轴采用独特专利技术的气浮套结构,偏置力矩小,运动平稳;
● 光栅尺采用进口高精度插槽式光栅尺。
测量精度:0.5+L/1000起