测量功能
尺寸：包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
夹角：包含水平角、垂直角、夹角
位置公差：包含平行度、垂直度
形状公差：包含直线度、凸度、圆弧轮廓度
辅助生成：包含辅助点、辅助线、辅助圆
技术参数
项目
参数
测量范围
X轴驱动器
100mm
Z1（传感器）
30mm
立柱行程
450mm
指示精度
X轴
（L=X轴移动导轨距离）
±(1.2+0.02L)μm
Z1轴
（H=Z1轴方向测量高度）
±(1.0+0.05H)μm
角度
≤±1′
圆弧
（R=标准圆弧值）
≤±(1.2+R/12)μm
直线度
1.0μm /100mm
分辨率
0.1μm
传感器
类型
光栅传感器
测针形状
25μm 12°
测针材质
硬质合金
测量方式
传感器移动
运动控制
导轨速度
0.02mm至6mm/s
立柱移动速度
0.1mm至10mm/s
测量速度
0.02mm至5.0mm/s
