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一、概述：
DZBG-S白光干涉三维形貌仪是采用国外* 先进的白光干涉扫描技术研制的纳米量级形貌测量 仪器，透过精密的扫描系统和自主专利的解析算法， 进行样品表面微细形貌的量测与分析。表面显微成 像能力与高精度测量的完美结合，只需数秒钟，就能 观测到表面的三维轮廓、台阶高度、表面纹理、微观尺 寸以及包含各类参数的测量结果。
二、结构设计：
标准配置采用五轴手动调整载物平台，可依据 不同测试要求做弹性调整,并可选配电动载物平台， 以实现自动定位、自动聚焦、自动缝合之大面积高 精度的量测要求，样品均不需前处理即可进行非破 坏、高精度、快速的表面形貌测量和分析。
系统采用气浮式隔振模块、坚固的花岗岩和钢 结构支撑,具有出色的稳定性。测量过程简便而快速, 只需把被测物体放置到载物台，聚焦出干涉条纹， 按下测量按钮即可开始整个测量过程。